بررسی تنش و اثر فرآیند تابکاری در شبیه سازی رشد لایه های نازک

پایان نامه
  • وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه تهران - دانشکده علوم
  • نویسنده بهداد جلالی جعفری
  • استاد راهنما هادی سوالوفی
  • تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
  • سال انتشار 1380
چکیده

این تحقیق بر پایه مدل رشد لایه نازک پیشنهاد شده توسط قلی پور ‏‎‏‎[13]‎‏ بنا شده است. لایه رشد داده شده به این روش تحت محاسبه تنش و همچنین تحت فرآیند تابکاری قرار می گیرد. روش قلی پور که عبارت است از شبیه سازی رشد لایه نازک انباشته شده به روش تبخیر در خلا برای انباشت لایه به روش کند و پاش مورد استفاده در این تحقیق تعدیل شده است. برای محاسبه تنش در لایه انباشت شده به این ترتیب از روش موئلر ‏‎[14]‎‏ استفاده شده است با این تفاوت که موئلر لایه مورد نظر برای محاسبه تنش را در دمای ثابت لایه گذاری، با آهنگ رشد یکسان اما با انرژیهای متفاوت برای ذرات فرودی (در هر لایه رشد داده شده) رشد داده است و سپس تنش ایجاد شده در آن را محاسبه نموده است، اما در این تحقیق لایه به روش کند و پاش و در دماهای متفاوت لایه گذاری و با آهنگهای متفاوت انباشت رشد داده شده و سپس تنش در آن محاسبه شده است. فصل سوم به ارایه نتایج این تحقیق و مقایسه با نتایج موئلر می پردازد. به منظور شبیه سازی فرآیند تابکاری لایه نازک از روش مونت کارلو سود برده شده است. این روش که برای شبیه سازی فرآیند های گرمایی شامل سیستمهای بس ذره ایی که در نهایت با منبع حرارت به تعادل گرمایی می رسند مناسب است، به طور خلاصه شامل تحریک یک اتم از لایه است که به صورت کاتوره ایی انتخاب می شود و با توجه به تعداد نزدیکترین همسایه های خود پتانسیل آن در جایگاه مزبور محاسبه شده و با پتانسیل جایگاههای مجاور مناسب برای مهاجرت آن اتم مقایسه می شود. اگر پتانسیل جایگاههای مجاور و مناسب برای مهاجرت آن اتم مقایسه می شود. اگر پتانسیل جایگاههای مجاور و مناسب برای مهاجرت کمتر از پتانسیل جایگاه فعلی اتم نتخاب شده باشد اتم به جایگاه مجاور با کمترین انرژی پتانسیل مهاجرت می کند. در غیر این صورت جایگاه مجاور با کمترین انرژی پتانسیل باز هم با یک احتمال معین قابل مهاجرت خواهد بود.

۱۵ صفحه ی اول

برای دانلود 15 صفحه اول باید عضویت طلایی داشته باشید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

مدل سازی و شبیه سازی اثر دمای زیر لایه بر واکنش های سطحی در رشد فیلم نازک GaAs به روش تبخیر شیمیایی

در این کار، شبیه سازی رشد لایه ی نازکGaAs به کمک روش تبخیر شیمیایی در محیط نرم افزار COMSOL Multiphysics انجام گردیده است. به منظور مقایسه نتایج شبیه سازی با نتایج تجربی، تمامی جزییات شبیه سازی و واکنش های مربوط به تشکیل GaAs بر مبنای یک آزمایش تجربی و نتایج آن صورت گرفت.جزئیات مراحل تعریف واکنش ها، طراحی محفظه، مطالعه روابط شیمیایی و ترمودینامیکی مربوطه و تحلیل مش ها شرح داده شد. پارامتر هایی ...

متن کامل

شبیه سازی رشد لایه های نازک در حضور ذرات فعال و ناخالصی

در این مقاله در چارچوب مدل انباشت بالستیک به شبیه سازی رشد لایه های نازک در حضور دو نوع ذره فعال (a) و ناخالصی(c) می پردازیم و نمای مقیاسی رشد  و نمای مقیاسی زبری  را به دست می آوریم و آن ها را با کلاس جهانی ارائه شده توسط کاردار-پاریزی-ژانگ (kpz) مقایسه می کنیم. نتایج به دست آمده وجود یک احتمال بحرانی  را نشان می دهند، به گونه ای که به ازای مقادیر کوچکتر از ، مدل انباشت مورد نظر ما در کلاس جها...

متن کامل

اثر بربرین در تنظیم آستروسیتهای Gfap+ ناحیه هیپوکمپ موشهای صحرایی دیابتی شده با استرپتوزوتوسین

Background: Diabetes mellitus increases the risk of central nervous system (CNS) disorders such as stroke, seizures, dementia, and cognitive impairment. Berberine, a natural isoquinolne alkaloid, is reported to exhibit beneficial effect in various neurodegenerative and neuropsychiatric disorders. Moreover astrocytes are proving critical for normal CNS function, and alterations in their activity...

متن کامل

اثر بربرین در تنظیم آستروسیتهای Gfap+ ناحیه هیپوکمپ موشهای صحرایی دیابتی شده با استرپتوزوتوسین

Background: Diabetes mellitus increases the risk of central nervous system (CNS) disorders such as stroke, seizures, dementia, and cognitive impairment. Berberine, a natural isoquinolne alkaloid, is reported to exhibit beneficial effect in various neurodegenerative and neuropsychiatric disorders. Moreover astrocytes are proving critical for normal CNS function, and alterations in their activity...

متن کامل

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


نوع سند: پایان نامه

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه تهران - دانشکده علوم

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023